产品世界

--我公司自主研发的MTW欧版磨、LM立式磨等细粉加工设备，拥有多项国家专利，能够将石灰石、方解石、碳酸钙、重晶石、石膏、膨润土等物料研磨至20-400目，是您在电厂脱硫、煤粉制备、重钙加工等工业制粉领域的得力助手。

5X系列欧版智能磨粉机

全稀油润滑系统锥齿轮整体传动系统

CM欧式粗粉磨机

破碎式磨粉机成品粒度均匀投资低易管理维修快使用久

LM立式辊磨机

磨辊轴稀油润滑制粉与烘干二合一

LUM超细立式磨粉机

料层粉磨原理+多轮选粉原理

MTW系列欧版磨粉机(专利产品)

锥齿轮整体传动内部稀油润滑系统

MW环辊微粉磨

集成度高费用低功耗低更节能磨耗小成品质优优化工作模式

T130X超细磨

品质优良、性能稳定、运行可靠

超压梯形磨粉机

梯形工作面柔性连接磨辊联动增压

高压悬辊磨粉机

高压弹簧装置重叠多级密封粒度范围广恒定碾压力

雷蒙磨粉机（R摆式磨粉机）

自成体系铸件精良性能稳定无人作业

球磨机

应用广泛维护方便性价比高

产品系列完备，打通粗碎、中碎、细碎和超细碎作业

C6X系列颚式破碎机

可拆装无焊接结构机架双楔块调整装置

CI5X系列反击式破碎机

高精度转子多功能全液压操作系统

CS弹簧圆锥破碎机

层压破碎高摆频优化腔型

HGT旋回式破碎机

高破碎能力长使用周期简单易操作自动化控制

HJ系列颚式破碎机

低投入、高产出、低消耗、高效率

HPT液压圆锥破碎机

效率高产量高品质高更稳定

HST单缸液压圆锥破碎机

层压破碎成品粒型好全自动控制系统

PEW欧版颚式破碎机

整体铸钢轴承座承载能力和可靠性高

PE颚式破碎机

优化型深腔破碎破碎能力强

PFW欧版反击式破碎机

重型转子整体式铸钢轴承座稳定可靠

PF反击式破碎机

破碎功能全生产效率高

PY弹簧圆锥破碎机

成品粒度均匀干油和水两种密封方式

K3系列轮式移动生产线

处理能力强大，日产饱满全系车载电控系统

McCloskey履带破碎筛分设备

液压控制品牌部件节能降耗创新设计

NK系列移动站

为客户提供系统、灵活的模块化解决方案

粗碎移动破碎站

破碎比大有效可靠

VSI家族与VU骨料优化系统共担精品机制砂制备重任

独立工作的组合移动站

九种配置颚式破碎机和六种反击式破碎机，成品粒形好

履带式移动破碎站

全液压驱动功能齐全转场灵活

三组合移动站

既可独立完成客户生产石料的需求，也可作联机作业的粗破使用

四组合移动站

根据粗碎、中碎、细碎的需要独立组合，经济适用

细碎洗砂移动站

两台配备VSI系列和5X系列反击式破碎机和四台高性能细腔圆锥破碎机

细碎整形筛分移动站

是人工制砂、石料整形领域的理想设备，可使破碎产品的级配合理

中细碎筛分移动站

配备大容量、稳定可靠的液压圆锥破碎机

5X系列离心冲击式破碎机

兼具整形与破碎磨损率低利用率高

VSI6X系列立轴冲击式破碎机

四口叶轮设计特殊密封防漏油工艺

VSI制砂机（冲击式破碎机）

一机多用稀油润滑自循环系统

VUS砂石同出系统

砂粒饱满圆润可调控效率高环保指标达标自动化程度高

VU骨料优化系统

浑然天成的干法制砂工艺

XSD系列洗砂机

处理量大洗净率高故障率低可靠耐用

应用领域

石灰石
脱硫制备

01

混凝土
矿粉加工

02

矿物
磨粉加工

03

重质碳酸钙
石灰粉磨

04

清洁
煤粉制备

05

精品物料

等离子体尾气处理scrubber

2023-10-12T09:10:39+00:00

等离子废气处理设备废气处理设备苏州华烯环保科

16 行等离子废气处理设备一、等离子体废气处理设备工作原理等离子 2019年8月10日 scrubber根据不同的工艺产生不同的尾气;选择不同的处理方法! 1、scrubber该设备包括电加热型、气体型、吸附型和等离子体型。吸附型需要更换吸附 CVD设备的scrubber的功能原理及其安装位置，「盖斯帕克

Local Scrubber上海盛剑环境系统科技股份有限公司

Local Scrubber上海盛剑环境系统科技股份有限公司首页 ꄲ 服务产品 ꄲ 设备 ꄲ Local Scrubber Local Scrubber 前置处理剧毒及易燃易爆等有害废气大家都在看 ꄴ 上一个： 3 天之前 SALIX 是我们的使用点湿式洗涤器系列，专门处理单晶片清洗湿式工作台产生的工艺过程废气。与先前的概念相比，该系统可以对工艺过程变化实现高灵活性，并且能节约空间及洁净室空气。可以采用湿式洗涤器采用水洗洗涤器的废气处理 DAS 德国DAS戴思环保

半导体用等离子水洗式工业废气处理设备（scrubber）道客巴巴

2022年4月30日低温等离子体工业废气处理设备（精品）星级： 3 页半导体等离子处理设备及方法星级： 14 页半导体废气的处理设备星级： 13 页复合式等离子工业废气处理催化剂 Local Scrubber尾气设备电子行业特气应急塔电子行业特气吸附塔等离子水洗设备（PLasmarWet Scrubber）类别： Local Scrubber尾气设备等离子水洗设等离子水洗设备（PLasmarWet Scrubber）Local Scrubber

一文读懂PLASMA真空等离子处理仪工作原理知乎

2023年2月27日 PLASMA真空等离子处理仪配备清洗托盘，把样品放在托盘上，样品朝上的一面等离子处理效果明显，样品贴着托盘的一面处理效果不明显，原因是等离子体需要空间让其做高速运动，而样品贴着托盘的那 2023年5月5日如今公司主营的全系列等离子体SCRUBBER尾气处理系统，是一种专门处理集成电路、光伏新能源、平板显示等微电子领域制造工艺过程中产生的电子级危废气体的高端智能化安全环保装备。“形象地来危废气体处理效率超99%！这家企业一季度订单已

解决方案半导体尾气处理系统知乎

2023年3月31日 8，Scrubber灵活多样，可选择加热处理、水洗处理、吸附式及多种结合方式。四,为什么选择尾气处理系统？在半导体制程生产中，这些制程后残存的气体从无尘室通过真空管出来后，需经尾气处理设备（Local Scrubber）通过燃烧或水洗、冷凝、吸附式等方法先行处理，再排入中央废气处理系统。2023年7月11日（9） ALD尾气：工作状态下，机台处于密闭装置，且设备属于真空状态，未参与反应的多余的三甲基铝经设备内部换排气系统引入 9 台等离子体水洗尾气处理设备（ Local Scrubber ），引至镀膜尾气装置处理（ 4 台氨气洗涤塔）；安徽美达伦光伏科技有限公司《年产10GW新型高效太阳能

米格实验室Scrubber设备SEMI认证知乎

2020年11月26日米格实验室Scrubber设备SEMI认证一 SEMI S2认证适用范围： S2用于生产、改良和研发环境的所有设备。目的：为保护人员、财产和环境安全，消除设备的所有风险，或降低至可管控的低风险。二 Scrubber设备SEMI认证尾气处理设备（scrubber）是为MOCVD，CVD，刻蚀 2020年12月17日吸附式尾气处理设备设计上： 1小型尾气处理设备（Local Scrubber）设计初衷是为了查漏补缺和应急使用，保护环境和人员安全。 2以吸附桶完全处理设备尾气，确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害； 3在无尘室内不产生火源，没有明火，可以减少事半导体工艺尾气处理设备Local Scrubber中的“安全”气体

半导体制造工艺中各类废气是如何产生的？知乎

2023年9月19日半导体行业产生的废气通过分类密闭收集处理，有酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等。处理系统有机台端的POU本地处理和厂务端（Fab）中央处理系统；如热氧化、CVD、干法刻蚀、离子注入等工艺制程中会产生特性气体（硅烷、砷烷、磷烷、全氟烃、含卤素气体等有毒和高沸点废气），先经 2015年7月10日电热水洗ScrubberBWA尾气处理器（精品PPT）ppt 上传电热文档格式：ppt 文档大小： 296M 文档页数： 23 页顶 /踩数： 0 / 0 收藏人数： 4 评论次数： 0 文档热度：文档分类：幼儿/小学教育电热水洗ScrubberBWA尾气处理器（精品PPT）ppt 豆丁网

几种常用废气处理方法对比表知乎

2021年9月12日下面是几种常用废气处理方法对比：比较项目低温等离子光氧化催化（UV）干式中和法活性炭吸附法 1反应机理电化学反应（改变气体成分）高能电子破坏臭气分子化学键，根本性解决问题物理反应（不改变气体成分）紫外线照射产生臭氧，氧化 2021年9月12日洗涤塔是一种新型的气体净化处理设备，英文名Scrubber,顾名思义，是用来处理废气中的有害成分，清洁废气用的设备。 1 洗涤塔的分类有机洗涤塔：去除制程中的有机物酸碱废气洗涤塔：去除制程中的酸碱性气体热排气：去除制程中的水蒸气，热废气洗涤塔的认识知乎

等离子有机废气净化器工作原理知乎

2021年9月12日低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒800万次至5000 万次的速度反复轰击异味气体的分子，去激活、电在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子 2018年10月27日电子废气处理LocalScrubber简介上海兄弟微电子技术有限公司电子废气处理装置 Local Scrubber 简介一半导体废气处理特性半导体工艺中常使用的化学物质及其副产物,一般依照其化学特性与其不同的影响范围, 可分为: 1 易燃性气体如 SiH4 H2 等 2 毒性气体如 AsH3,PH3 电子废气处理LocalScrubber简介pdf 原创力文档

硅烷(SIH4)废气处理的危险性有多大？知乎专栏

2023年11月6日废气处理设备处理SIH4废气 SiH4在使用后会产生的废气，如果未经废气处理设备治理就直接高浓度对外排放，对人体和环境的恶劣影响是无法估量的。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，反应性和自燃性强烈，有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，毒工艺原理工艺机台产生的有害废气经真空管道及附属工艺真空设备，被导入LOCAL SCRUBBER内部反应腔，进行燃烧或高温分解。经燃烧或高温分解后的附产物，进入后序装置进行二次处理（干式吸附除外），从而达到安全可靠集中收集、集中处理的目的。Local Scrubber上海盛剑环境系统科技股份有限公司

尾气处理一般分为哪些？知乎

2023年6月8日对于Local Scrubber的处理效率的验证并无明确的检验措施，一般只要处理后的废气体积浓度符合法规所规定的TLV值或排放容许浓度即可；总之，废气处理装置的主要作用是处理和净化产生的废气，以减少对环境和人类健康的负面影响。2022年4月29日半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。半导体尾气处理器等离子水洗Local 半导体厂尾气处理方法有哪些废气吸附转轮

半导体厂常用废气除害设备选型介绍知乎

2023年6月8日各类型Local Scrubber各有优缺点，我们应根据实际废气的种类及其理化性质，去选择合适的废气处理装置，一般应考虑重点如下：成本预算；运行维护成本； PM频率与难易度；安全性及处理效率；现场具备哪些厂务条件；对于Local Scrubber的处理效 2024年1月20日根据废气的不同性质尾气处理方式(Wet Scrubber):水喷淋吸收溶解(Thermal Wet Scrubber):燃烧或电加热及湿法喷淋处理，能够完全彻底处理废气，如北京邦联成科技有限公司加热燃烧喷淋水洗式尾气处理设备（SCRUBBER）尺寸：800长805宽1900高类型：加热水洗式处理能力尾气处理设备（SCRUBBER）北京邦联成科技有限公司

等离子水洗设备（PLasmarWet Scrubber）Local Scrubber

当前位置：首页 > 产品中心 > Local Scrubber尾气设备电子行业特气吸附剂催化剂 Local Scrubber尾气设备电子行业特气应急塔处理量： 5001500SLM advantage 三大优势服务每一位顾客联系我们西安西能光伏科技有限公司（西能WMAX）专业从事洁净间高纯气体管路系统工程，实验室气体管路系统工程、厂务二次配管路系统工程、汇流排系统工程、制药管道系统工程、卫生级管道系统工程、尾气处理设备管路系统工程、太阳能电站系统、太阳能路灯系统。「有害气体净化装置」TMA/ICP/CVD/MOCVD/PECVD废气

Local Scrubber Introduction1027 豆丁网

2017年8月11日高温触媒水洗1操作安全性高。 2可同時处理PFCs氣體气体及酸性气体，其处理效率皆高于99％。 3处理后之气体无有害性副产物。 1机台起始设置成本高。 2除了触媒外还需更换吸附材料，故運运转成本较高，降低客戶使用意愿。 3使用后触媒若本发明涉及尾气处理技术领域，特别涉及一种干法蚀刻设备的尾气处理装置。背景技术刻蚀工艺是用化学或物理的方法有选择地从基材表面去除不需要的材料的过程，其中干法刻蚀(DryEtching)，具有很好的各向异性刻蚀和线宽控制，已经在微电子技术中得到广泛的应用。干法刻蚀工艺产生的尾气往往一种干法蚀刻设备的尾气处理装置的制作方法

半导体制程工艺中硅烷（SiH4）废气处理Local Scrubber气体

2020年11月27日 5 确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害 6 妥善处理废料，不影响地球环境综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能2019年8月10日 CVD设备scrubber的功能 CVD设备scrubber基本上是专门为CVD设备尾气处理设计的装置。 CVD尾气通常含有大量颗粒和难以处理的未反应、爆炸性、易燃性或毒性气体废气。 scrubber是一种专门为减少后端处理的麻烦和安全性而设计的装置。可使用局部scrubber专用CVD设备单 CVD设备的scrubber的功能原理及其安装位置，「盖斯帕克

Local Scrubber尾气处理设备（半导体废气处理设备）

2023年3月13日本装置的直流电弧等离子体为非转移型，两电极区域不参与反应，只产生等离子体，产生的火焰温度可达3000度以上。等离子反应器的MTBF大于1年，反应室内腔的材质耐热和耐腐，具有四个进气口，装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区，对PFC温室气体的去除效率>90%。2022年7月13日低温等离子废气处理设备拥有以下优势： 1、高科技创新设备：依靠等离子体产生电场能量电离、裂解气体分子结构，实现净化目的。 2、高效废气净化：高效去除污染物以及恶臭味，除臭效率可达98%以上。 3、无需添加任何物质：低温等离子废气处理是一种低温等离子废气处理设备知乎

等离子清洗机工作原理分析达因特详细解析处理

2019年5月15日等离子清洗的作用原理主要是：等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面 2020年4月2日取决于催化剂性能，不过处理后的尾气需二次处理HCl、SOx 等物质。 15催化剂的热稳定性由于催化燃烧是强放热反应，当VOCs浓度较高时，催化剂床层升温明显，因此要求催化剂有比较高的热稳定性。实验室是测试高温焙烧催化剂的活性与新鲜催化 VOCs有机废气处理常见问题知乎

等离子设备是如何工作的？知乎

2018年8月6日图3 PBMS型等离子球磨机及应用领域将高能球磨与介质阻挡等离子体相结合，在粉体处理过程中，高能球磨将粉体破碎裸漏新的表面，增加等离子与材料表面的接触面积，相对于静态等离子处理，相对作用深度增加，破碎与表面处理同步进行，在金属高效合金化，二维材料制备，石墨烯包覆各种材料 2022年3月9日为了确保方案和报价的优z性，请您提供半导体厂废气数据，包括：废气成分、废气浓度、废气风量、所需达到处理效果（如XXX国j标准）、占地面积等。以上就是《半导体行业废气治理解决方案》的全部半导体行业废气治理解决方案知乎

采用水洗洗涤器的废气处理 DAS 德国DAS戴思环保

3 天之前 SALIX 是我们的使用点湿式洗涤器系列，专门处理单晶片清洗湿式工作台产生的工艺过程废气。与先前的概念相比，该系统可以对工艺过程变化实现高灵活性，并且能节约空间及洁净室空气。可以采用湿式洗涤器 2020年12月17日半导体吸附式尾气处理设备 1PLC 触控面板设计和人机接口控制系统，可实现设备安全有效的运行。 2全面监控：各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器，针对设备运行时各种状况，随时监控，避免泄漏等事故的发生。 3尾气出口半导体工艺尾气处理设备Local Scrubber中的“安全”

半导体硅烷废气处理方式及工艺流程知乎

2022年3月17日硅烷废气处理方法硅烷作为一种提供硅组分的气体源，反应性和自燃性强烈，有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，毒性很大，如果人体吸入硅烷就会强烈刺激呼吸器官，是一种高危险性的气体。在半导体工厂中，因工作区域一般离中心废气处理系统 2024年1月11日废气处理设施运行管理制度是指依据相关法律法规，为了保护环境、确保生态平衡，对废气处理设施的运行进行规范和管理的制度。随着工业化进程的加快和经济的快速发展，排放的废气对大气环境和人们的健康造成了严重的影响。环保设备工业废气处理环保设备品牌价格厂家供应安徽

燃烧式废气处理柜（Scrubber），「盖斯帕克」特种气体

燃烧式废气处理柜产品名称：燃烧式废气处理柜(Scrubber)、Gastech ® Local Scrubber 特点描述：结构紧凑，功能齐全，经济实惠，美观大方，整齐简洁，安全可靠，操作方便，带扩展品，便于升级，燃烧式废气处理柜。2020年12月7日 2无废气产生。通过吸附桶完全处理设备尾气，不需要耗用水资源，没有废水处理问题； 3安全隐患少。处理时，没有明火，在无尘室内不产生火源； 4节省能源。没有高耗能的需求; 尾气处理设备通过上面的解释，相信您应该对半导体制造企业选择尾半导体制造企业选择尾气处理设备（Local Scrubber）的原因

scrubber指的是什么设备？百度文库

scrubber指的是什么设备？吸附式尾气处理设备（Local Scrubber）几乎能处理所以小流量的废气，是半导体厂常用的尾气处理设备，吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上，达到分离的目的。吸附剂选择性高 2023年2月27日 PLASMA真空等离子处理仪配备清洗托盘，把样品放在托盘上，样品朝上的一面等离子处理效果明显，样品贴着托盘的一面处理效果不明显，原因是等离子体需要空间让其做高速运动，而样品贴着托盘的那一文读懂PLASMA真空等离子处理仪工作原理知乎

危废气体处理效率超99%！这家企业一季度订单已

2023年5月5日如今公司主营的全系列等离子体SCRUBBER尾气处理系统，是一种专门处理集成电路、光伏新能源、平板显示等微电子领域制造工艺过程中产生的电子级危废气体的高端智能化安全环保装备。“形象地来 2023年3月31日 8，Scrubber灵活多样，可选择加热处理、水洗处理、吸附式及多种结合方式。四,为什么选择尾气处理系统？在半导体制程生产中，这些制程后残存的气体从无尘室通过真空管出来后，需经尾气处理设备（Local Scrubber）通过燃烧或水洗、冷凝、吸附式等方法先行处理，再排入中央废气处理系统。解决方案半导体尾气处理系统知乎

安徽美达伦光伏科技有限公司《年产10GW新型高效太阳能

2023年7月11日（9） ALD尾气：工作状态下，机台处于密闭装置，且设备属于真空状态，未参与反应的多余的三甲基铝经设备内部换排气系统引入 9 台等离子体水洗尾气处理设备（ Local Scrubber ），引至镀膜尾气装置处理（ 4 台氨气洗涤塔）；2020年11月26日米格实验室Scrubber设备SEMI认证一 SEMI S2认证适用范围： S2用于生产、改良和研发环境的所有设备。目的：为保护人员、财产和环境安全，消除设备的所有风险，或降低至可管控的低风险。二 Scrubber设备SEMI认证尾气处理设备（scrubber）是为MOCVD，CVD，刻蚀米格实验室Scrubber设备SEMI认证知乎

半导体工艺尾气处理设备Local Scrubber中的“安全”气体

2020年12月17日吸附式尾气处理设备设计上： 1小型尾气处理设备（Local Scrubber）设计初衷是为了查漏补缺和应急使用，保护环境和人员安全。 2以吸附桶完全处理设备尾气，确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害； 3在无尘室内不产生火源，没有明火，可以减少事 2023年9月19日半导体行业产生的废气通过分类密闭收集处理，有酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等。处理系统有机台端的POU本地处理和厂务端（Fab）中央处理系统；如热氧化、CVD、干法刻蚀、离子注入等工艺制程中会产生特性气体（硅烷、砷烷、磷烷、全氟烃、含卤素气体等有毒和高沸点废气），先经半导体制造工艺中各类废气是如何产生的？知乎

电热水洗ScrubberBWA尾气处理器（精品PPT）ppt 豆丁网

2015年7月10日电热水洗ScrubberBWA尾气处理器（精品PPT）ppt 上传电热文档格式：ppt 文档大小： 296M 文档页数： 23 页顶 /踩数： 0 / 0 收藏人数： 4 评论次数： 0 文档热度：文档分类：幼儿/小学教育 2021年9月12日下面是几种常用废气处理方法对比：比较项目低温等离子光氧化催化（UV）干式中和法活性炭吸附法 1反应机理电化学反应（改变气体成分）高能电子破坏臭气分子化学键，根本性解决问题物理反应（不改变气体成分）紫外线照射产生臭氧，氧化几种常用废气处理方法对比表知乎